- Фронтенд-интерфейс EFEM Связывает систему транспортировки материалов фабрики с внутренней средой передачи технологической установки для стандартизированной передачи пластин.
- Совместимая со SEMI конструкция Представлен как интерфейсная система, совместимая со стандартами SEMI для связи и интеграции оборудования.
- Двухрукий транспортный робот Двухрукий робот с внешней осью обеспечивает высокоэффективное перемещение пластин на фронтенде установки.
- Компактная занимаемая площадь Архитектура с малой занимаемой площадью подходит для фронтендов установок с ограниченным пространством на фабрике.
- Гибкая координация транспорта Перемещает пластины вручную или в координации с фабричным транспортом, например надземными системами.
- Контроль загрязнений Обеспечивает повторяемую передачу пластин, снижая при этом контакт оператора с критическими подложками.
Описание
SIASUN TSS-3000 — это EFEM (Equipment Front End Module) для производства полупроводников, выступающий контролируемым интерфейсом между системой транспортировки материалов фабрики и внутренней средой передачи технологической установки. Он координирует загрузку, выравнивание и передачу пластин, одновременно способствуя контролю загрязнений и стандартизированной, совместимой со SEMI связи оборудования.
Спроектированный с малой занимаемой площадью, TSS-3000 использует двухрукий транспортный робот с внешней осью для перемещения пластин вручную или в координации с фабричным транспортом, например надземными системами, обеспечивая высокоэффективную, повторяемую обработку пластин на фронтенде установки. Он подходит для чистых помещений фабрик пластин, где требуются стандартизированные интерфейсы и сниженный контакт оператора с критическими подложками. Свяжитесь с нами по вопросам цены и наличия.
Характеристики
Характеристики
| Бренд | SIASUN |
|---|---|
| Модель | TSS-3000 |
| Тип робота | EFEM (Equipment Front End Module) / фронтенд-система передачи пластин |
| Интерфейс | Совместимый со SEMI фронтенд-интерфейс |
| Транспортный робот | Двухрукий робот с внешней осью |
| Занимаемая площадь | Компактная / малая занимаемая площадь |
| Работа | Вручную или в координации с фабричным транспортом (например, надземными системами) |
| Типовые применения | Обработка на фронтенде фабрики пластин, загрузка и выравнивание/передача пластин |
Отрасли
Часто задаваемые вопросы
Свяжитесь с нами, чтобы узнать актуальную цену, наличие и получить индивидуальное предложение на SIASUN Truss Robot.
Это декартов портальный робот для повторяемого перемещения материалов — чаще всего загрузки и выгрузки станков с ЧПУ, межоперационных передач и линий автоматизации процессов в цехе.
Да. Благодаря широкой рабочей зоне и масштабируемой длине направляющих один портальный робот может обслуживать несколько станков с ЧПУ или рабочих мест, сокращая число отдельных устройств перемещения.
Интерфейс конечного эффектора принимает пневматические или сервозахваты, вакуумные присоски, магнитные захваты и устройства смены инструмента, поэтому его можно настроить для перемещения деталей, плоских или ферромагнитных поверхностей и многооперационных ячеек.
Да. Robotix Market поставляет продукцию компаниям по всему миру с выставлением счетов и послепродажной поддержкой. Свяжитесь с нами для получения предложения.
Робот для обработки пластин SIASUN TSS-3000 EFEM
- Обычная цена
- Цена по запросу
Стоимость доставки рассчитывается при оформлении заказа.
В наличии
Роботизированная рука
Недавно просмотренные
Вы ещё не просматривали ни одного товара.
