- Структура двигателя с прямым приводом Прямое соединение без шестерён и ремней уменьшает люфт и механическую податливость для более плавного и отзывчивого движения при работе в вакууме.
- Меньшее образование частиц Меньшее число механических сопряжений передачи означает меньше продуктов износа — ключевое преимущество в чистых и вакуумных средах, где загрязнения усиливаются.
- Новый модуль ввода-вывода Обновлённый модуль ввода-вывода улучшает интеграцию управления для функций автоматизации в вакуумных системах и системах load-lock.
- Поддержка аппаратных прерываний Входы с управлением по прерываниям обеспечивают обработку событий с низкой задержкой для блокировок, событий выравнивания и координации с сигналами давления и состояния дверей.
- Сниженная чувствительность к обслуживанию Отказ от ремней и зубчатых передач устраняет расходные компоненты передачи, которые в противном случае требовали бы регулярного обслуживания.
- Архитектура, ориентированная на вакуум Платформа разработана специально для вакуумного перемещения внутри камер, систем load-lock и кластерных установок, а не для открытого цехового использования.
Описание
Серия SIASUN PHOENIX-S25 — это платформа вакуумного манипулятора, разработанная для чистого перемещения внутри вакуумных камер, систем шлюзовой загрузки (load-lock) и кластерных установок (cluster tools). В отличие от обычных цеховых роботов, вакуумные манипуляторы должны тщательно контролировать загрязнение, смазку и герметизацию, и PHOENIX-S25 решает это с помощью структуры двигателя с прямым приводом, которая исключает шестерни, ремни и подобные элементы передачи из внутренней архитектуры. Сокращение этих механических сопряжений снижает образование частиц, уменьшает число расходных элементов передачи и поддерживает более чистый и отзывчивый профиль движения. В серии также появился новый модуль ввода-вывода с поддержкой аппаратных прерываний для обработки событий с низкой задержкой.
Эти характеристики делают PHOENIX-S25 хорошо подходящей для чувствительных к загрязнению процессов, где детали или подложки перемещаются между модулями без контакта с окружающим воздухом. Возможность аппаратных прерываний позволяет системе управления быстро реагировать на состояние вакуумной системы, состояние дверей load-lock, события выравнивания по датчикам и сигналы готовности модулей, помогая координировать детерминированное движение в пределах зоны вакуумного перемещения. Она наиболее тесно связана с производством полупроводников и дисплеев, где пластины и панели обрабатываются внутри вакуумных кластерных установок для сведения к минимуму окисления и загрязнения. PHOENIX-S25 поставляется по запросу цены, при этом конфигурация и интеграция в процесс подтверждаются до оформления заказа.
Характеристики
Характеристики
| Бренд | SIASUN |
|---|---|
| Модель | PHOENIX-S25 Series |
| Тип | Вакуумный манипулятор |
| Структура привода | Direct-drive (no gears or belts) |
| Ввод-вывод управления | New I/O module with hardware interrupt support |
| Происхождение | China |
Отрасли
Часто задаваемые вопросы
Это платформа вакуумного манипулятора SIASUN, предназначенная для перемещения деталей или подложек между технологическими модулями внутри вакуумных камер, систем load-lock и кластерных установок без их контакта с окружающим воздухом. Его архитектура с прямым приводом и обновлённый ввод-вывод рассчитаны на чистую и отзывчивую работу.
Отказ от шестерён, ремней и подобных элементов передачи снижает образование частиц от механического износа, уменьшает число расходных деталей и может улучшить динамический отклик за счёт уменьшения люфта и податливости — всё это ценится при работе в вакууме и в чистых условиях.
Она наиболее тесно связана с производством полупроводников и дисплеев, где пластины и панели перемещаются между модулями в вакуумных кластерных установках для снижения риска окисления и загрязнения. Она подходит для процессов, в которых контролируемое чистое перемещение является основополагающим требованием.
Серия PHOENIX-S25 поставляется по запросу цены, при наличии. Отправьте запрос на коммерческое предложение через Robotix Market, и наша команда подтвердит цену, наличие, конфигурацию и требования к интеграции в процесс для вашего проекта.
Серия PHOENIX-S25 покрывается гарантией производителя, предоставляемой SIASUN. Robotix Market осуществляет доставку по всему миру, а детали доставки подтверждаются в рамках вашего коммерческого предложения.
Недавно просмотренные
Вы ещё не просматривали ни одного товара.
