- Transferência de pastilhas por vácuo
- Câmaras de carga
- Módulos de processo
- Repetibilidade
- Capacidade de processamento
- Controlo da contaminação
Descrição
O Robô de Vácuo Série Phoenix B SIASUN transfere wafers entre câmaras de bloqueio (load locks), câmaras de transferência e módulos de processo (deposição, ataque químico, metrologia) sem comprometer os ambientes controlados.
Melhora a repetibilidade, o débito e o controlo da contaminação no fabrico de semicondutores e em salas limpas.
A Série Phoenix B serve aplicações de manuseamento em vácuo nos setores dos semicondutores, educação e indústria.
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Características
Especificações
| Modelo | Robô de aspiração da série PHOENIX B |
|---|---|
| Tipo de robô | Transferência por vácuo |
| Utilização prevista | Manuseamento de semicondutores |
| Marca | SIASUN |
Setores
Perguntas frequentes
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O robô a vácuo Phoenix Série B da SIASUN transfere pastilhas através de câmaras de carga e módulos de processo. Automatização com controlo de contaminação para o fabrico de semicondutores.
Robô de aspiração SIASUN Série Phoenix B é perfeitamente adequado a aplicações nos setores Industrial.
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Robô de aspiração SIASUN Série Phoenix B
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