- Ambiente de vácuo
- Transferência de pastilhas
- Integração de ferramentas de cluster
- Movimento repetitivo
- Elevado tempo de atividade
- Redução de partículas
Descrição
O Robô de Vácuo Série Archer SIASUN transfere wafers ou substratos entre câmaras de processo em equipamentos agrupados. Concebido para ambientes de vácuo com movimento repetível e elevada disponibilidade.
Integrado com módulos de automação de front-end e ferramentas de cluster de vácuo para reduzir a geração de partículas e manter o fabrico limpo.
A Série Archer serve aplicações de processamento em vácuo nos setores dos semicondutores e da indústria.
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Características
Especificações
| Modelo | Série Archer de robôs aspiradores |
|---|---|
| Tipo de robô | Transferência por vácuo |
| Utilização prevista | Processamento de semicondutores |
| Marca | SIASUN |
Setores
Perguntas frequentes
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A série Archer de robôs a vácuo da SIASUN transfere pastilhas em ferramentas de cluster a vácuo. Automatização com elevado tempo de funcionamento para ambientes de processamento de semicondutores em condições de limpeza.
Série Archer de robôs a vácuo da SIASUN é perfeitamente adequado a aplicações nos setores Industrial.
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Série Archer de robôs a vácuo da SIASUN
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