Beschrijving

De vacuümmanipulator uit de SIASUN PHOENIX-serie opereert binnen een vacuümtransfermodule (VTM) of transferkamer van een cluster tool. Verplaatst substraten (doorgaans siliciumwafers) tussen load locks en meerdere proceskamers.

Voldoet aan strikte reinheidseisen, positioneernauwkeurigheid en uptime-eisen als onderdeel van het front-end automatiseringsecosysteem.

De Phoenix-serie wordt ingezet voor toepassingen in halfgeleiders, logistiek, onderzoek en inspectie.

Neem contact met ons op voor prijzen en beschikbaarheid.

Kenmerken

VTM operation
Transfer chamber
Silicon wafers
Process chambers
Cleanliness
Positioning accuracy

Specificaties

Model: Vacuum Manipulator PHOENIX Series
Robot Type: Vacuum manipulator
Target Use: VTM cluster tool
Brand: SIASUN

Sectoren

Industrial

SIASUN

SIASUN Vacuümmanipulator Phoenix-serie

Regular price: Prijs op aanvraag

In Stock

Robotic Arm

De SIASUN PHOENIX Vacuum Manipulator werkt in vacuümtransfermodules en clustertools. Siliciumwaferhandling met strenge eisen aan reinheid en positioneernauwkeurigheid.

Klik op Prijs aanvragen voor de prijs, of voeg toe aan de winkelwagen voor een offerte met meerdere artikelen.

Recent bekeken

You haven't viewed any products yet.

SIASUN Vacuümmanipulator Phoenix-serie

Recent bekeken

Robotix Market

Offerte aanvragen

Artikelen in uw offerteaanvraag:

Prijsaanvraag

SIASUN Vacuümmanipulator Phoenix-serie