- Transfert de substrats
- Sas de chargement
- Chambres à vide
- Débit reproductible
- Manutention précise
- Intervention réduite
Description
Le robot sous vide SIASUN SM15 transfère des substrats (tels que des plaquettes) ou des pièces sensibles entre les sas de chargement, les chambres à vide et les postes internes des outils de procédé intégrés.
Il favorise un débit répétable, une manipulation précise et une intervention humaine réduite dans la fabrication de semi-conducteurs.
Le SM15 répond aux applications de manipulation sous vide dans les secteurs semi-conducteur, de l'inspection et industriel.
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Fonctionnalités
Spécifications
| Modèle | SM15 |
|---|---|
| Type de robot | Robot sous vide |
| Usage prévu | Équipements de procédé de semi-conducteurs |
| Marque | SIASUN |
Secteurs
Questions fréquentes
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Le SIASUN SM15 Vacuum Robot transfère les substrats entre les sas de chargement et les postes des équipements de procédé. Manipulation précise pour la cadence de fabrication des semi-conducteurs.
Robot sous vide SIASUN SM15 convient parfaitement aux applications dans les secteurs Industriel.
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Robot sous vide SIASUN SM15
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