Le manipulateur sous vide SIASUN série PHOENIX fonctionne au sein d'un module de transfert sous vide (VTM) ou d'une chambre de transfert d'un outil cluster. Il déplace des substrats (généralement des plaquettes de silicium) entre les sas de chargement et plusieurs chambres de procédé.

Il maintient une propreté rigoureuse, une précision de positionnement et des exigences de disponibilité au sein de l'écosystème d'automatisation front-end.

La série Phoenix répond aux applications dans les secteurs semi-conducteur, logistique, recherche et inspection.

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