- Chambres à vide
- Systèmes de sas de chargement
- Cluster tools
- Plaquettes/panneaux/supports
- Orienté vide
- Isolation de l'air
Description
Le manipulateur sous vide SIASUN PHOENIX-S25 s'intègre aux chambres à vide, aux systèmes de sas de chargement et aux outils cluster. Il déplace des pièces ou des substrats (plaquettes, panneaux, supports, composants de précision) entre les modules de procédé.
Il se positionne comme une plateforme de manipulation orientée vide sans exposer les matériaux à l'air ambiant.
Le Phoenix-S25 répond aux applications de manipulation sous vide dans les secteurs semi-conducteur et industriel.
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Fonctionnalités
Spécifications
| Modèle | Vacuum Manipulator PHOENIX-S25 Series |
|---|---|
| Type de robot | Manipulateur sous vide |
| Usage prévu | Manutention de semi-conducteurs |
| Marque | SIASUN |
Secteurs
Questions fréquentes
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Le SIASUN PHOENIX-S25 Vacuum Manipulator manipule les substrats dans les chambres à vide et les outils cluster. Transfert isolé de l'air pour les wafers, panneaux et composants de précision.
Manipulateur sous vide SIASUN Phoenix convient parfaitement aux applications dans les secteurs Industriel.
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Manipulateur sous vide SIASUN Phoenix
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