- Plaquettes de 200mm/300mm
- Charge utile de 0.5kg
- Conception compacte
- Haute vitesse
- Haute propreté
- Interface FOUP/cassette
Description
Le manipulateur atmosphérique SIASUN Blade-DD250 prend en charge les formats de plaquette Φ200mm et Φ300mm avec une charge utile ≤0.5kg. Il se positionne comme une solution de transfert compacte, à grande vitesse et à haute propreté.
Il est utilisé aux interfaces entre outils de procédé, ports de chargement et cassettes/FOUP dans l'automatisation d'usine en salle blanche.
Le Blade-DD250 répond aux applications de manipulation atmosphérique dans les secteurs semi-conducteur et industriel.
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Fonctionnalités
Spécifications
| Modèle | Blade-DD250 |
|---|---|
| Taille de plaquette | Φ200mm, Φ300mm |
| Charge utile | ≤0.5kg |
| Type de robot | Manipulateur atmosphérique |
| Marque | SIASUN |
Secteurs
Questions fréquentes
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Le SIASUN Blade-DD250 manipule les wafers de 200mm et 300mm avec une charge utile de ≤0.5kg. Transfert atmosphérique compact à grande vitesse pour l'automatisation d'usine en salle blanche.
Manipulateur atmosphérique SIASUN Blade DD250 convient parfaitement aux applications dans les secteurs Industriel.
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Manipulateur atmosphérique SIASUN Blade DD250
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