- 200mm/300mm wafers
- 0.5kg payload
- Compact design
- High-speed
- High cleanliness
- FOUP/cassette interface
Description
Le manipulateur atmosphérique SIASUN Blade-DD250 prend en charge les formats de plaquette Φ200mm et Φ300mm avec une charge utile ≤0.5kg. Il se positionne comme une solution de transfert compacte, à grande vitesse et à haute propreté.
Il est utilisé aux interfaces entre outils de procédé, ports de chargement et cassettes/FOUP dans l'automatisation d'usine en salle blanche.
Le Blade-DD250 répond aux applications de manipulation atmosphérique dans les secteurs semi-conducteur et industriel.
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Fonctionnalités
Spécifications
Secteurs
Manipulateur atmosphérique SIASUN Blade DD250
- Prix régulier
- Prix sur demande
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Robotic Arm
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