Le manipulateur atmosphérique SIASUN Blade-D156 déplace des plaquettes (ou des substrats de type plaquette) entre les modules front-end, les ports de chargement, les aligneurs, les postes d'inspection et les interfaces d'outils de procédé à pression ambiante.

Il se positionne comme une plateforme de transfert compacte et de précision, souvent intégrée à un EFEM ou à une cellule de manipulation de matériaux intégrée.

Le Blade-D156 répond aux applications de manipulation atmosphérique dans les secteurs semi-conducteur, de l'inspection et industriel.

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