- Vacuum environment
- Wafer transfer
- Cluster tool integration
- Repeatable motion
- High uptime
- Particle reduction
Descripción
El SIASUN Vacuum Robot Archer Series transfiere obleas o sustratos entre cámaras de proceso en equipos de tipo clúster. Diseñado para entornos de vacío con movimiento repetible y alta disponibilidad.
Se integra con módulos de automatización front-end y herramientas de clúster de vacío para reducir la generación de partículas y mantener una fabricación limpia.
La Archer Series atiende aplicaciones de procesamiento en vacío en semiconductores e industria.
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Características
Especificaciones
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