Beschreibung

Der SIASUN PHOENIX-S25 Vakuum-Manipulator wird in Vakuumkammern, Load-Lock-Systeme und Cluster-Tools integriert. Bewegt Teile oder Substrate (Wafer, Panels, Carrier, Präzisionskomponenten) zwischen Prozessmodulen.

Positioniert als vakuumorientierte Manipulator-Plattform, ohne Materialien der Umgebungsluft auszusetzen.

Der Phoenix-S25 wird für Vakuum-Handling in den Bereichen Halbleiter und Industrie eingesetzt.

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Funktionen

Vacuum chambers
Load-lock systems
Cluster tools
Wafers/panels/carriers
Vacuum-oriented
Air isolation

Technische Daten

Model: Vacuum Manipulator PHOENIX-S25 Series
Robot Type: Vacuum manipulator
Target Use: Semiconductor handling
Brand: SIASUN

Branchen

Industrial

SIASUN

SIASUN Vakuum-Manipulator Phoenix

Regulärer Preis: Preis auf Anfrage

Auf Lager

Robotic Arm

Der SIASUN PHOENIX-S25 Vacuum Manipulator handhabt Substrate in Vakuumkammern und Clustertools. Luftisolierter Transfer für Wafer, Panels und Präzisionskomponenten.

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