- Direktantriebs-Motorstruktur Die direkte Kopplung ohne Zahnräder oder Riemen reduziert Spiel und mechanische Nachgiebigkeit für eine gleichmäßigere, reaktionsschnellere Bewegung im Vakuumbetrieb.
- Geringere Partikelbildung Weniger mechanische Übertragungsschnittstellen bedeuten weniger Abriebpartikel, ein entscheidender Vorteil in Rein- und Vakuumumgebungen, in denen Verunreinigungen verstärkt werden.
- Neues E/A-Modul Ein aktualisiertes Ein-/Ausgabemodul verbessert die Steuerungsintegration für Automatisierungsfunktionen innerhalb von Vakuum- und Load-Lock-Systemen.
- Hardware-Interrupt-Unterstützung Interrupt-gesteuerte Eingänge ermöglichen eine latenzarme Ereignisverarbeitung für Verriegelungen, Ausrichtungsereignisse und die Koordination mit Druck- und Türzustandssignalen.
- Reduzierte Wartungsanfälligkeit Der Wegfall von Riemen und Zahnradgetrieben entfernt Verschleißteile der Kraftübertragung, die andernfalls eine regelmäßige Wartung erfordern würden.
- Vakuumorientierte Architektur Die Plattform ist speziell für den Vakuumtransfer innerhalb von Kammern, Load-Lock-Systemen und Cluster-Tools ausgelegt und nicht für den offenen Einsatz auf dem Fabrikboden.
Beschreibung
Die SIASUN PHOENIX-S25 Serie ist eine Vakuum-Manipulator-Plattform, die für den sauberen Transfer innerhalb von Vakuumkammern, Load-Lock-Systemen und Cluster-Tools entwickelt wurde. Anders als herkömmliche Roboter für den Fabrikboden müssen Vakuum-Manipulatoren Kontamination, Schmierung und Abdichtung sorgfältig handhaben, und die PHOENIX-S25 begegnet dem mit einer Direktantriebs-Motorstruktur, die Zahnräder, Riemen und ähnliche Übertragungselemente aus der internen Architektur entfernt. Die Reduzierung dieser mechanischen Schnittstellen verringert die Partikelbildung, senkt die Anzahl der Verschleißteile in der Kraftübertragung und unterstützt ein saubereres, reaktionsschnelleres Bewegungsprofil. Die Serie führt außerdem ein neues E/A-Modul mit Hardware-Interrupt-Unterstützung für die latenzarme Ereignisverarbeitung ein.
Diese Eigenschaften machen die PHOENIX-S25 gut geeignet für kontaminationsempfindliche Prozesse, bei denen Teile oder Substrate zwischen Modulen bewegt werden, ohne der Umgebungsluft ausgesetzt zu sein. Die Hardware-Interrupt-Fähigkeit ermöglicht es dem Steuerungssystem, schnell auf den Status des Vakuumsystems, Zustände der Load-Lock-Türen, sensorgesteuerte Ausrichtungsereignisse und Modul-Bereitschaftssignale zu reagieren, und trägt so zur Koordinierung deterministischer Bewegungen innerhalb eines Vakuum-Transferbereichs bei. Sie wird am engsten mit der Halbleiter- und Display-Fertigung in Verbindung gebracht, bei der Wafer und Panels innerhalb von Vakuum-Cluster-Tools gehandhabt werden, um Oxidation und Kontamination zu minimieren. Die PHOENIX-S25 wird auf Angebotsbasis geliefert, wobei Konfiguration und Prozessintegration vor der Bestellung bestätigt werden.
Funktionen
Technische Daten
| Marke | SIASUN |
|---|---|
| Modell | PHOENIX-S25 Series |
| Typ | Vakuum-Manipulator |
| Antriebsstruktur | Direktantrieb (keine Zahnräder oder Riemen) |
| Steuerungs-E/A | Neues E/A-Modul mit Hardware-Interrupt-Unterstützung |
| Herkunft | China |
Branchen
Häufig gestellte Fragen
Es handelt sich um eine SIASUN Vakuum-Manipulator-Plattform, die dafür ausgelegt ist, Teile oder Substrate zwischen Prozessmodulen innerhalb von Vakuumkammern, Load-Lock-Systemen und Cluster-Tools zu bewegen, ohne sie der Umgebungsluft auszusetzen. Seine Direktantriebs-Architektur und die aktualisierte E/A sind für einen sauberen, reaktionsschnellen Betrieb vorgesehen.
Der Wegfall von Zahnrädern, Riemen und ähnlichen Übertragungselementen senkt die Partikelbildung durch mechanischen Verschleiß, reduziert die Anzahl der Verschleißteile und kann das dynamische Verhalten durch Verringerung von Spiel und Nachgiebigkeit verbessern, was allesamt bei der Vakuum- und Reinraum-Handhabung geschätzt wird.
Sie wird am stärksten mit der Halbleiter- und Display-Fertigung in Verbindung gebracht, bei der Wafer und Panels zwischen Modulen in Vakuum-Cluster-Tools transferiert werden, um das Oxidations- und Kontaminationsrisiko zu verringern. Sie eignet sich für Prozesse, bei denen ein kontrollierter, sauberer Transfer eine grundlegende Anforderung ist.
Die PHOENIX-S25 Serie wird auf Angebotsbasis geliefert, vorbehaltlich der Verfügbarkeit. Reichen Sie eine Angebotsanfrage über Robotix Market ein, und unser Team bestätigt Preis, Verfügbarkeit, Konfiguration und Anforderungen an die Prozessintegration für Ihr Projekt.
Die PHOENIX-S25 Serie ist durch die von SIASUN bereitgestellte Herstellergarantie abgedeckt. Robotix Market versendet weltweit, wobei die Lieferdetails im Rahmen Ihres Angebots bestätigt werden.
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