- 200mm/300mm wafers
- 0.5kg payload
- Compact design
- High-speed
- High cleanliness
- FOUP/cassette interface
Beschreibung
Der SIASUN Blade-DD250 Atmosphären-Manipulator unterstützt Φ200mm- und Φ300mm Waferformate mit ≤0.5kg Traglast. Positioniert als kompakte, schnelle, hochreine Transferlösung.
Eingesetzt an Schnittstellen zwischen Prozessanlagen, Load-Ports und Kassetten/FOUPs in der Reinraum-Fabrikautomatisierung.
Der Blade-DD250 wird für atmosphärisches Handling in den Bereichen Halbleiter und Industrie eingesetzt.
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Funktionen
Technische Daten
Branchen
SIASUN Atmosphären-Manipulator Blade DD250
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- Preis auf Anfrage
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Robotic Arm
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